脉宽小于12 ns,输出功率大于40W @60 kHz,重复频率50 kHz ~ 200 kHz。同时配备三维运动平台和二维振镜,可用于金属材料切割与分板,陶瓷材料打孔与划片,硬脆性材料切割,LED衬底晶圆划线等。
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