脉宽小于15 ns，输出功率大于25W @60 kHz，重复频率50 kHz ~ 200 kHz。同时配备五维运动平台和三维振镜，可用于金属材料切割与分板，陶瓷材料打孔与划片，硬脆性材料切割，LED衬底晶圆划线等。